quang khắc siêu phân giải

Trong nhiều năm qua, nhiều ý kiến cho rằng việc Mỹ hạn chế tiếp cận công nghệ quang khắc EUV sẽ khiến ngành bán dẫn Trung Quốc gặp bế tắc. Tuy nhiên, một số nghiên cứu mới công bố trên tạp chí Nature cho thấy các nhóm nghiên cứu Trung Quốc đang theo đuổi một hướng tiếp cận khác, thay vì cố gắng...