Samsung tìm cách giảm lệ thuộc vào thiết bị bán dẫn Nhật Bản

[hunglx112]

Samsung Electronics đang tăng tốc nội địa hóa các vật liệu cũng như thiết bị sử dụng cho kỹ thuật quang khắc bán dẫn. Ngày 05/10, gã khổng lồ công nghệ Hàn Quốc đã hoàn thành công đoạn thử nghiệm phê duyệt cho thiết bị giám sát argon florua (ArFi), do công ty con SEMES phát triển.
Việc vượt qua thử nghiệm chất lượng đồng nghĩa, thiết bị sẽ sớm được đưa vào dây chuyền sản xuất hàng loạt. Dự kiến, thiết bị này sẽ áp dụng cho các dây chuyền bán dẫn của Samsung Electronics từ năm 2023.
Một quy trình quang khắc sẽ có nhiệm vụ in mẫu mạch lên các tấm wafer tròn bằng ánh sáng. Nó được coi là một trong những thao tác quan trọng nhất trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Tuy nhiên, hầu hết các vật liệu và thiết bị dùng cho kỹ thuật quang khắc đều được nhập khẩu từ nước ngoài, nhiều nhất là châu Âu và Nhật Bản.

Thiết bị giám sát triển khai chất cản quang (PR: photoresist) lên tấm wafer một cách đồng đều, trước khi đưa vào máy khắc. Các nhà sản xuất chip Hàn Quốc phụ thuộc vào công nghệ nước ngoài về thiết bị chế tạo chip. Tokyo Electron (TEL), nhà sản xuất thiết bị bán dẫn lớn nhất Nhật Bản, đang dẫn đầu thị trường thiết bị giám sát toàn cầu.
Dự kiến, Samsung sẽ thúc đẩy nội địa hóa thiết bị và vật liệu bán dẫn. SEMES cũng đang phát triển thiết bị giám sát cho quang khắc EUV, vốn đòi hỏi công nghệ tiên tiến hơn và hiện cũng đang bị các công ty Nhật Bản cung cấp độc quyền.
Trong khi đó, máy khắc thì phải nhập khẩu từ công ty Hà Lan ASML.

>>> Canon chi 345 triệu USD xây nhà máy sản xuất thiết bị quang khắc chế tạo chip

Nguồn: Business Korea