Theo UDN, Huawei đã nộp đơn xin cấp bằng sáng chế về máy quét in thạch bản cực tím (EUV). Nếu công ty phát triển 1 máy quét như vậy và đạt được năng suất, thời gian hoạt động và sản lượng tốt, các nhà sản xuất chip Trung Quốc có thể sản xuất chip trên công nghệ dưới 7nm. Câu hỏi được đặt ra là khi nào chúng ta thấy được điều đó.
Hồi giữa tháng 11, Huawei đã nộp đơn lên Văn phòng Sở hữu Trí tuệ Nhà nước để xin cấp bằng sáng chế về máy quét EUV và các thành phần quan trọng của nó với mã đơn xin cấp bằng sáng chế là 202110524685X.
Theo các mô tả từ nhiều nguồn phương tiện truyền thông khác nhau, đơn xin cấp bằng sáng chế dường như bao gồm mọi thành phần quan trọng của máy quét EUV, bao gồm bộ tạo ánh sáng EUV 13,5 nm (nguồn sáng), 1 bộ gương phản chiếu, hệ thống in thạch bản và 'công nghệ quản lý điều khiển'.
Việc nộp bằng sáng chế không đồng nghĩa với việc họ có thể chế tạo máy quét EUV, vốn là 1 cỗ máy cực kỳ phức tạp có nhiều thành phần hiện tại, phải hoạt động hoàn hảo đổng bộ và trong thời gian dài. Hơn nữa, ngay cả khi có sẵn công cụ EUV, các nhà sản xuất chip vẫn phải tìm ra những hạt phù hợp cho mặt nạ, tấm chắn và nhiều thứ cần thiết khác để sản xuất số lượng lớn.
Máy quét EUV với khẩu độ số 0,33 là đỉnh cao của các công cụ sản xuất bán dẫn ngày nay. Nhiều công ty đã cố gắng phát triển 1 công cụ như vậy, nhưng chỉ ASML thành công sau hơn 10 năm phát triển nhờ sự hỗ trợ tài chính từ Intel, Samsung và TSMC. Ngày nay, Samsung, SK Hynix và TSMC tích cực sử dụng các công cụ EUV từ ASML, nhưng Intel vẫn chưa bắt đầu sản xuất chip số lượng lớn bằng các công cụ này.
Hiện tại, chỉ có Intel, Micron, Samsung, SK Hynix và TSMC sử dụng hoặc dự định sử dụng máy quét EUV. Hơn nữa, chỉ 5 công ty này đã phát triển (hoặc có kế hoạch phát triển) các công nghệ xử lý đủ tinh vi để tận dụng lợi thế của máy quét EUV. Trong khi đó, SMIC có trụ sở tại Trung Quốc không thể có được công cụ EUV đã mua để phát triển quy trình chế tạo dựa trên EUV của riêng mình do thỏa thuận Wassenaar. Do đó, rõ ràng là nhu cầu về máy quét EUV là hoàn toàn cấp thiết tại Trung Quốc và Huawei rất mong muốn giải quyết vấn đề này.
Là một tập đoàn công nghệ cao đẳng cấp thế giới với doanh thu hàng năm khoảng 100 tỷ USD, Huawei theo đuổi các mục tiêu khác nhau và phát triển nhiều công nghệ. Tham vọng sản xuất bán dẫn của công ty đã được nhiều người biết đến và họ không chỉ giới hạn trong sản xuất chip mà còn chế tạo thiết bị chế tạo wafer. Các nỗ lực WFE của Huawei đang tiến triển khá tốt khi công ty đăng ký bằng sáng chế cho máy quét EUV.
>>> Huawei đã cạn kiệt chip tự thiết kế
Nguồn: Tom’s Hardware
