Trường Sơn
Writer
Ngày 25/12, Mạng lưới Mua sắm Chính phủ Trung Quốc thông báo rằng Công ty TNHH Thiết bị Vi điện tử Thượng Hải (sau đây gọi là "Shanghai Microelectronics, SMEE") đã trúng thầu dự án mua sắm zycgr22011903 máy khắc quang học quét bước , với số lượng một máy và giá trị giao dịch là 110 triệu nhân dân tệ (khoảng 412 tỷ đồng).
Công nghệ in thạch bản quét từng bước là một công nghệ in thạch bản lai kết hợp những ưu điểm của in thạch bản chiếu quét và in thạch bản lặp lại từng bước. Công nghệ này quét động và di chuyển đồng thời mặt nạ và tấm wafer, với kích thước phơi sáng tiêu chuẩn là 26mm × 33mm. Nó có thể tăng trường phơi sáng và phơi sáng nhiều chip cùng một lúc. Nó có khả năng điều chỉnh tiêu cự theo thời gian thực trong suốt quá trình quét và phù hợp với các quy trình sản xuất dưới 0,25μm, đặc biệt được sử dụng rộng rãi trong các nút 0,18μm và các quy trình tiên tiến hơn.
"Mẫu ý kiến chuyên gia thẩm định đấu thầu độc quyền" cho thấy bên đấu thầu là Phòng thí nghiệm LGGJ thuộc Bộ Khoa học và Công nghệ , với tổng giá trị dự án là 113 triệu nhân dân tệ.
Chứng nhận của chuyên gia cho thấy máy khắc quang học quét bước (stepper scanning lithography) sở hữu khả năng tạo ảnh quang học độ phân giải cao (độ phân giải ≤110nm) và độ chính xác chồng ảnh tuyệt vời (≤15nm), hỗ trợ xử lý cấu trúc ở mức micromet và dưới micromet với độ đồng nhất và ổn định cao. Phương pháp phơi sáng quét đảm bảo độ chính xác trong xử lý đồng thời mang lại lợi thế về hiệu quả cao và khả năng xử lý kích thước lớn, thể hiện tính nhất quán và ổn định quy trình vượt trội. Điều này đáp ứng đầy đủ các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình của mảng điện cực thần kinh mật độ cao với độ rộng đường kẻ cực nhỏ và độ chính xác căn chỉnh cao.
Công nghệ in thạch bản quét từng bước là một công nghệ in thạch bản lai kết hợp những ưu điểm của in thạch bản chiếu quét và in thạch bản lặp lại từng bước. Công nghệ này quét động và di chuyển đồng thời mặt nạ và tấm wafer, với kích thước phơi sáng tiêu chuẩn là 26mm × 33mm. Nó có thể tăng trường phơi sáng và phơi sáng nhiều chip cùng một lúc. Nó có khả năng điều chỉnh tiêu cự theo thời gian thực trong suốt quá trình quét và phù hợp với các quy trình sản xuất dưới 0,25μm, đặc biệt được sử dụng rộng rãi trong các nút 0,18μm và các quy trình tiên tiến hơn.
"Mẫu ý kiến chuyên gia thẩm định đấu thầu độc quyền" cho thấy bên đấu thầu là Phòng thí nghiệm LGGJ thuộc Bộ Khoa học và Công nghệ , với tổng giá trị dự án là 113 triệu nhân dân tệ.
Chứng nhận của chuyên gia cho thấy máy khắc quang học quét bước (stepper scanning lithography) sở hữu khả năng tạo ảnh quang học độ phân giải cao (độ phân giải ≤110nm) và độ chính xác chồng ảnh tuyệt vời (≤15nm), hỗ trợ xử lý cấu trúc ở mức micromet và dưới micromet với độ đồng nhất và ổn định cao. Phương pháp phơi sáng quét đảm bảo độ chính xác trong xử lý đồng thời mang lại lợi thế về hiệu quả cao và khả năng xử lý kích thước lớn, thể hiện tính nhất quán và ổn định quy trình vượt trội. Điều này đáp ứng đầy đủ các yêu cầu nghiêm ngặt về quy trình của mảng điện cực thần kinh mật độ cao với độ rộng đường kẻ cực nhỏ và độ chính xác căn chỉnh cao.
Theo ứng dụng Qichacha, Shanghai Microelectronics thuộc sở hữu chung của Shanghai Electric Holding Group Co., Ltd. và Shanghai Zhangjiang Haocheng Venture Capital Co., Ltd., một công ty con thuộc sở hữu hoàn toàn của Zhangjiang Hi-Tech (600895.SH). Trang web chính thức của công ty cho thấy Shanghai Microelectronics chủ yếu tập trung vào phát triển, thiết kế, sản xuất, bán hàng và dịch vụ kỹ thuật thiết bị bán dẫn, thiết bị liên quan đến bán dẫn và thiết bị thông minh cao cấp. Thiết bị của công ty được sử dụng rộng rãi trong sản xuất mạch tích hợp, đóng gói tiên tiến, tấm FPD, MEMS, LED và thiết bị điện. Theo trang web chính thức của Shanghai Microelectronics, công ty chủ yếu cung cấp năm loại thiết bị in thạch bản.
