Hoàng Đức
Writer
Công ty ASML của Hà Lan đã cho ra mắt máy in thạch bản có hàm lượng NA cao (khẩu độ số) đầu tiên trên thế giới chỉ vài tháng trước và hiện tại, thiết bị có kích thước bằng căn phòng này đã phá vỡ kỷ lục. Công ty tuyên bố đã lập kỷ lục mới về mật độ sản xuất chip, đánh dấu sự khởi đầu thuận lợi cho thiết bị thế hệ tiếp theo được cho là có giá khoảng 400 triệu USD (10.181 tỷ đồng).
ASML đã trình bày về máy NA cao tại hội nghị ITF World 2024 của imec, theo Tom's Hardware, gồm một số thành tựu và thảo luận về kế hoạch triển khai. Tại triển lãm, ASML tiết lộ rằng máy NA cao đã tạo thành công mật độ 8nm trên một tấm wafer, vượt qua thành tích phá kỷ lục trước đó của máy là dây chuyền 10nm từ đầu tháng 4/2024.
Đối với bối cảnh, các máy cực tím thông thường (EUV) hoặc NA thấp có khả năng tạo ra các tính năng có kích thước xấp xỉ 13,5nm, do đó việc chuyển sang 8nm là rất quan trọng. ASML cũng đang đề xuất một cỗ máy "siêu NA" sẽ đẩy mọi thứ đi xa hơn nữa nhưng lưu ý rằng điều này sẽ không thể thực hiện được cho đến năm 2033 hoặc lâu hơn.
Thông báo của ASML cho thấy công ty đang đi đúng hướng với NA cao và máy có thể sẽ đáp ứng các thông số kỹ thuật được quảng cáo. ASML chắc chắn hy vọng những thông báo như thế này có thể thuyết phục nhiều nhà sản xuất chip mua máy hơn, vì cho đến nay chỉ có Intel mới mua được một chiếc. Chiếc máy này đang hoạt động tại Oregon Fab của công ty, nhưng nó sẽ không sản xuất chip thương mại trong ít nhất một hoặc hai năm nữa. Intel cho biết họ sẽ đưa nó vào sử dụng lần đầu tiên với quy trình Intel 14A sắp tới, có thể ra mắt vào khoảng năm 2026.
Do hầu hết ngành công nghiệp sản xuất chip vẫn sử dụng EUV thông thường hoặc NA thấp, nên ASML cũng đã công bố kế hoạch giảm chi phí phát triển EUV bằng cách tăng đáng kể tốc độ sản xuất. Cựu Chủ tịch và CTO của công ty cho biết tại hội nghị rằng ASML có kế hoạch tăng tốc độ tạo ra tấm wafer EUV lên 400 đến 500 tấm wafer mỗi giờ, so với 200 tấm wafer hiện có. Tuy nhiên, vẫn chưa rõ khi nào máy này sẽ có sẵn để mua. #máyinthạchbản
Intel là chủ sở hữu duy nhất của máy in thạch bản NA cao đầu tiên của ASML, máy này sẽ được sử dụng để thử nghiệm trong suốt năm 2024 và thậm chí có thể là năm 2025.
ASML đã trình bày về máy NA cao tại hội nghị ITF World 2024 của imec, theo Tom's Hardware, gồm một số thành tựu và thảo luận về kế hoạch triển khai. Tại triển lãm, ASML tiết lộ rằng máy NA cao đã tạo thành công mật độ 8nm trên một tấm wafer, vượt qua thành tích phá kỷ lục trước đó của máy là dây chuyền 10nm từ đầu tháng 4/2024.
Đối với bối cảnh, các máy cực tím thông thường (EUV) hoặc NA thấp có khả năng tạo ra các tính năng có kích thước xấp xỉ 13,5nm, do đó việc chuyển sang 8nm là rất quan trọng. ASML cũng đang đề xuất một cỗ máy "siêu NA" sẽ đẩy mọi thứ đi xa hơn nữa nhưng lưu ý rằng điều này sẽ không thể thực hiện được cho đến năm 2033 hoặc lâu hơn.
Thông báo của ASML cho thấy công ty đang đi đúng hướng với NA cao và máy có thể sẽ đáp ứng các thông số kỹ thuật được quảng cáo. ASML chắc chắn hy vọng những thông báo như thế này có thể thuyết phục nhiều nhà sản xuất chip mua máy hơn, vì cho đến nay chỉ có Intel mới mua được một chiếc. Chiếc máy này đang hoạt động tại Oregon Fab của công ty, nhưng nó sẽ không sản xuất chip thương mại trong ít nhất một hoặc hai năm nữa. Intel cho biết họ sẽ đưa nó vào sử dụng lần đầu tiên với quy trình Intel 14A sắp tới, có thể ra mắt vào khoảng năm 2026.
Do hầu hết ngành công nghiệp sản xuất chip vẫn sử dụng EUV thông thường hoặc NA thấp, nên ASML cũng đã công bố kế hoạch giảm chi phí phát triển EUV bằng cách tăng đáng kể tốc độ sản xuất. Cựu Chủ tịch và CTO của công ty cho biết tại hội nghị rằng ASML có kế hoạch tăng tốc độ tạo ra tấm wafer EUV lên 400 đến 500 tấm wafer mỗi giờ, so với 200 tấm wafer hiện có. Tuy nhiên, vẫn chưa rõ khi nào máy này sẽ có sẵn để mua. #máyinthạchbản
Intel là chủ sở hữu duy nhất của máy in thạch bản NA cao đầu tiên của ASML, máy này sẽ được sử dụng để thử nghiệm trong suốt năm 2024 và thậm chí có thể là năm 2025.
