ThanhDat
Intern Writer
Một công ty Trung Quốc vừa chính thức xác nhận sẽ bắt đầu sản xuất hàng loạt máy in thạch bản từ năm 2026. Thông tin này ngay lập tức khiến truyền thông quốc tế chú ý, thậm chí có ý kiến cho rằng đây chính là kịch bản mà ASML lo ngại nhất và nay đã trở thành hiện thực.
Ngày 17/1, tại Hội nghị Thượng đỉnh Công nghiệp Bán dẫn Đồng bằng sông Dương Tử, Shanghai Microelectronics (SMEE) công bố kế hoạch sản xuất hàng loạt máy khắc quang DUV ngâm tiến trình 28nm vào năm 2026. Đây không phải tin đồn hay suy đoán, mà là tuyên bố chính thức trước giới chuyên môn.
Thiết bị đầu tiên đã được lắp đặt trực tiếp trên dây chuyền sản xuất của SMIC. Những hình ảnh được công bố là ảnh chụp thực tế tại nhà máy, không qua chỉnh sửa hay dàn dựng. Theo SMEE, thiết bị cho thấy độ ổn định cao, tỷ suất lợi nhuận duy trì trên 90%, đáp ứng yêu cầu vận hành liên tục trên quy mô lớn. Nói ngắn gọn, máy đã đạt trạng thái sẵn sàng cho sản xuất hàng loạt.
Hyperion 1 đạt năng suất xử lý 250 wafer mỗi giờ, cao hơn khoảng 55 wafer so với các mẫu EUV tương đương của ASML. Thông tin này ngay lập tức tạo ra làn sóng thảo luận trong giới phân tích. Một chuyên gia nhận định rằng lợi thế độc quyền mang lại “cảm giác an toàn” cho ASML đang bị bào mòn từng bước, không phải bởi một cú đột phá đơn lẻ, mà bởi cả một quá trình dài.
Thực tế, đây không phải thành quả đạt được chỉ sau một đêm. Khi dự án đặc biệt quốc gia O2 được khởi động, Shanghai Microelectronics đối mặt với hàng loạt rào cản. Các linh kiện cốt lõi bị chặn nguồn cung, nhiều thông số kỹ thuật không thể tiếp cận. Ngay cả việc xây dựng bản thiết kế hoàn chỉnh cũng phải dựa vào phương pháp suy luận ngược, giống như ghép từng mảnh của một bài toán khó.
Không ít chuyên gia nước ngoài từng khẳng định Trung Quốc không thể tự sản xuất máy in thạch bản cao cấp. Tuy nhiên, những khó khăn sau đó còn khắc nghiệt hơn. Năm 2025, Hà Lan tiếp tục siết chặt quy định xuất khẩu, hạ ngưỡng DUV từ 7nm xuống 14nm. Thời gian phê duyệt đơn hàng của ASML đối với khách hàng Trung Quốc bị kéo dài lên tới 90 ngày, khiến chuỗi cung ứng rơi vào trạng thái bị động kéo dài.
Lệnh hạn chế không khiến các bên liên quan dừng lại, mà buộc họ phải tăng tốc tự chủ. Viện Quang học và Cơ khí Chính xác Thượng Hải thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc đã phát triển thành công nguồn sáng cực tím bước sóng 13,5nm. Viện Công nghệ Cáp Nhĩ Tân lựa chọn con đường LDP với cấu trúc đơn giản hơn, mức tiêu thụ năng lượng thấp hơn, hiệu suất nguồn sáng đạt 3,42%, chỉ còn một bước nữa để tiến tới thương mại hóa.
Điểm đáng chú ý nhất là toàn bộ chuỗi ngành công nghiệp trong nước bắt đầu phối hợp đồng bộ. Việc chế tạo máy in thạch bản không thể do một doanh nghiệp đơn lẻ đảm nhiệm, mà là kết tinh của cả hệ sinh thái công nghiệp.
Keyi Hongyuan đã sản xuất hàng loạt laser cực tím sâu 193nm, với đơn hàng được ghi nhận tới năm 2026. Huazhuo Precision Technology hiện nắm hơn 60% thị phần trong công nghệ bàn hai giai đoạn nano. Các linh kiện then chốt như thấu kính chiếu và chất cản quang lần lượt vượt qua kiểm định, đạt tỷ lệ thành công trên 90%. Độ chính xác định vị tăng từ 30% lên 45%, dựa trên dữ liệu thực tế từ dây chuyền sản xuất.
Song song đó, giai đoạn đầu của giai đoạn ba Quỹ Đầu tư Công nghiệp Mạch Tích hợp Quốc gia với tổng vốn 93 tỷ nhân dân tệ (tương đương khoảng 325.500 tỷ VNĐ) đã được triển khai toàn diện. Khu vực đồng bằng sông Dương Tử đang phát triển theo mô hình cụm, tích hợp nghiên cứu, sản xuất, kiểm định và thương mại hóa trong cùng một hệ thống. Đây không phải đột phá riêng lẻ, mà là khởi đầu của tư duy thiết kế hệ thống cho toàn ngành.
Trong khi đó, máy DUV 28nm do SMEE sản xuất có giá chỉ bằng khoảng một phần ba so với thiết bị nhập khẩu. Kích thước nhỏ hơn 30%, mức tiêu thụ điện năng giảm 40%. Từ năm 2026 đến 2030, SMIC, Yangtze Memory và nhiều doanh nghiệp khác dự kiến bổ sung thêm khoảng 30 dây chuyền sản xuất wafer 12 inch. Nhu cầu máy in thạch bản ngâm được ước tính vượt 200 chiếc, một thị trường trước đây gần như chỉ do ASML nắm giữ.
Hiện nay, thiết bị sản xuất trong nước bắt đầu giành được thị phần thực tế. Ý nghĩa cốt lõi không nằm ở việc “đánh bại” một đối thủ nào, mà ở chỗ chứng minh rằng những công nghệ từng bị bóp nghẹt không thể giải quyết bằng cách mua sắm đơn thuần. Có thể mua máy móc, nhưng không thể mua được cảm giác an toàn dài hạn hay quyền quyết định tương lai.
Việc sản xuất hàng loạt 28nm chưa tạo ra cú sốc ngay lập tức với EUV, nhưng nó khẳng định một điều quan trọng: ngành công nghiệp chỉ thực sự trưởng thành khi không còn phụ thuộc vào một công ty hay một lệnh cấm duy nhất. Lần này, đó không còn là khẩu hiệu, mà đã thể hiện qua việc giao thiết bị, kiểm soát tỷ lệ sản lượng và lập kế hoạch đặt hàng dài hạn.
Thị trường đang bước sang một giai đoạn mới. Câu hỏi còn lại là liệu sản xuất hàng loạt 28nm có đủ sức định hình lại thị trường thiết bị hay không, và công nghệ EUV nội địa sẽ cần thêm bao lâu để trở thành hiện thực thương mại.
Đây là một trong những nút công nghệ hiếm hoi đáng theo dõi trong dài hạn. (Sohu)
Ngày 17/1, tại Hội nghị Thượng đỉnh Công nghiệp Bán dẫn Đồng bằng sông Dương Tử, Shanghai Microelectronics (SMEE) công bố kế hoạch sản xuất hàng loạt máy khắc quang DUV ngâm tiến trình 28nm vào năm 2026. Đây không phải tin đồn hay suy đoán, mà là tuyên bố chính thức trước giới chuyên môn.
Thiết bị đầu tiên đã được lắp đặt trực tiếp trên dây chuyền sản xuất của SMIC. Những hình ảnh được công bố là ảnh chụp thực tế tại nhà máy, không qua chỉnh sửa hay dàn dựng. Theo SMEE, thiết bị cho thấy độ ổn định cao, tỷ suất lợi nhuận duy trì trên 90%, đáp ứng yêu cầu vận hành liên tục trên quy mô lớn. Nói ngắn gọn, máy đã đạt trạng thái sẵn sàng cho sản xuất hàng loạt.
Bước tiến DUV 28nm và tín hiệu đầu tiên từ EUV nội địa
Điều khiến thị trường chú ý hơn cả không chỉ dừng lại ở DUV 28nm. SMEE đồng thời tiết lộ nguyên mẫu EUV mang tên Hyperion 1, sử dụng công nghệ LDP, đã bước vào giai đoạn sản xuất thử nghiệm. Theo kế hoạch, quá trình xác minh cho sản xuất hàng loạt sẽ hoàn tất vào quý III/2026.
Hyperion 1 đạt năng suất xử lý 250 wafer mỗi giờ, cao hơn khoảng 55 wafer so với các mẫu EUV tương đương của ASML. Thông tin này ngay lập tức tạo ra làn sóng thảo luận trong giới phân tích. Một chuyên gia nhận định rằng lợi thế độc quyền mang lại “cảm giác an toàn” cho ASML đang bị bào mòn từng bước, không phải bởi một cú đột phá đơn lẻ, mà bởi cả một quá trình dài.
Thực tế, đây không phải thành quả đạt được chỉ sau một đêm. Khi dự án đặc biệt quốc gia O2 được khởi động, Shanghai Microelectronics đối mặt với hàng loạt rào cản. Các linh kiện cốt lõi bị chặn nguồn cung, nhiều thông số kỹ thuật không thể tiếp cận. Ngay cả việc xây dựng bản thiết kế hoàn chỉnh cũng phải dựa vào phương pháp suy luận ngược, giống như ghép từng mảnh của một bài toán khó.
Không ít chuyên gia nước ngoài từng khẳng định Trung Quốc không thể tự sản xuất máy in thạch bản cao cấp. Tuy nhiên, những khó khăn sau đó còn khắc nghiệt hơn. Năm 2025, Hà Lan tiếp tục siết chặt quy định xuất khẩu, hạ ngưỡng DUV từ 7nm xuống 14nm. Thời gian phê duyệt đơn hàng của ASML đối với khách hàng Trung Quốc bị kéo dài lên tới 90 ngày, khiến chuỗi cung ứng rơi vào trạng thái bị động kéo dài.
Lệnh hạn chế không khiến các bên liên quan dừng lại, mà buộc họ phải tăng tốc tự chủ. Viện Quang học và Cơ khí Chính xác Thượng Hải thuộc Viện Hàn lâm Khoa học Trung Quốc đã phát triển thành công nguồn sáng cực tím bước sóng 13,5nm. Viện Công nghệ Cáp Nhĩ Tân lựa chọn con đường LDP với cấu trúc đơn giản hơn, mức tiêu thụ năng lượng thấp hơn, hiệu suất nguồn sáng đạt 3,42%, chỉ còn một bước nữa để tiến tới thương mại hóa.
Điểm đáng chú ý nhất là toàn bộ chuỗi ngành công nghiệp trong nước bắt đầu phối hợp đồng bộ. Việc chế tạo máy in thạch bản không thể do một doanh nghiệp đơn lẻ đảm nhiệm, mà là kết tinh của cả hệ sinh thái công nghiệp.
Keyi Hongyuan đã sản xuất hàng loạt laser cực tím sâu 193nm, với đơn hàng được ghi nhận tới năm 2026. Huazhuo Precision Technology hiện nắm hơn 60% thị phần trong công nghệ bàn hai giai đoạn nano. Các linh kiện then chốt như thấu kính chiếu và chất cản quang lần lượt vượt qua kiểm định, đạt tỷ lệ thành công trên 90%. Độ chính xác định vị tăng từ 30% lên 45%, dựa trên dữ liệu thực tế từ dây chuyền sản xuất.
Song song đó, giai đoạn đầu của giai đoạn ba Quỹ Đầu tư Công nghiệp Mạch Tích hợp Quốc gia với tổng vốn 93 tỷ nhân dân tệ (tương đương khoảng 325.500 tỷ VNĐ) đã được triển khai toàn diện. Khu vực đồng bằng sông Dương Tử đang phát triển theo mô hình cụm, tích hợp nghiên cứu, sản xuất, kiểm định và thương mại hóa trong cùng một hệ thống. Đây không phải đột phá riêng lẻ, mà là khởi đầu của tư duy thiết kế hệ thống cho toàn ngành.
Vì sao ASML thực sự lo ngại và thị trường sẽ thay đổi ra sao
Lý do khiến ASML phải chú ý đặc biệt nằm ở các con số. Trong quý III/2025, thị trường Trung Quốc đại lục đóng góp 42% tổng doanh thu hệ thống thuần của ASML, trở thành thị trường lớn nhất của hãng. Tuy nhiên, các thiết bị được phép bán cho Trung Quốc chậm hơn tới tám thế hệ so với công nghệ khẩu độ số cao mới nhất, tương đương trình độ năm 2013.
Trong khi đó, máy DUV 28nm do SMEE sản xuất có giá chỉ bằng khoảng một phần ba so với thiết bị nhập khẩu. Kích thước nhỏ hơn 30%, mức tiêu thụ điện năng giảm 40%. Từ năm 2026 đến 2030, SMIC, Yangtze Memory và nhiều doanh nghiệp khác dự kiến bổ sung thêm khoảng 30 dây chuyền sản xuất wafer 12 inch. Nhu cầu máy in thạch bản ngâm được ước tính vượt 200 chiếc, một thị trường trước đây gần như chỉ do ASML nắm giữ.
Hiện nay, thiết bị sản xuất trong nước bắt đầu giành được thị phần thực tế. Ý nghĩa cốt lõi không nằm ở việc “đánh bại” một đối thủ nào, mà ở chỗ chứng minh rằng những công nghệ từng bị bóp nghẹt không thể giải quyết bằng cách mua sắm đơn thuần. Có thể mua máy móc, nhưng không thể mua được cảm giác an toàn dài hạn hay quyền quyết định tương lai.
Việc sản xuất hàng loạt 28nm chưa tạo ra cú sốc ngay lập tức với EUV, nhưng nó khẳng định một điều quan trọng: ngành công nghiệp chỉ thực sự trưởng thành khi không còn phụ thuộc vào một công ty hay một lệnh cấm duy nhất. Lần này, đó không còn là khẩu hiệu, mà đã thể hiện qua việc giao thiết bị, kiểm soát tỷ lệ sản lượng và lập kế hoạch đặt hàng dài hạn.
Thị trường đang bước sang một giai đoạn mới. Câu hỏi còn lại là liệu sản xuất hàng loạt 28nm có đủ sức định hình lại thị trường thiết bị hay không, và công nghệ EUV nội địa sẽ cần thêm bao lâu để trở thành hiện thực thương mại.
Đây là một trong những nút công nghệ hiếm hoi đáng theo dõi trong dài hạn. (Sohu)
