VNR Content
Pearl
Ngày 17/4, ASML, nhà sản xuất thiết bị bán dẫn hàng đầu thế giới, thông báo đã bắt đầu vận chuyển hệ thống quang khắc siêu cực tím (EUV) sử dụng công nghệ khẩu độ số lớn (High-NA) cho một khách hàng không được tiết lộ danh tính. Đây là máy quang khắc đầu tiên trên thế giới có hệ thống quang học chiếu khẩu độ số (NA) đạt 0,55 NA, mức cao nhất hiện nay.
Trước đó, vào cuối năm 2022, ASML đã giao mẫu High-NA EUV đầu tiên, mang tên Twinscan EXE:5000, cho Intel. Tháng 2 năm nay, gã khổng lồ chip Mỹ đã chia sẻ video quá trình lắp ráp máy này.
Christophe Fouquet, Giám đốc kinh doanh của ASML, xác nhận: "Về High-NA, hoặc 0,55 NA EUV, chúng tôi đã chuyển hệ thống đầu tiên cho khách hàng. Chúng tôi đã bắt đầu vận chuyển hệ thống thứ hai trong tháng này và việc lắp đặt cũng sắp bắt đầu".
Các kỹ sư ASML đang kiểm tra một hệ thống quang khắc. Ảnh: ASML
Mặc dù Fouquet từ chối tiết lộ danh tính khách hàng nhận máy thứ hai, nhiều chuyên gia trong ngành dự đoán đó có thể là TSMC, công ty gia công chip lớn nhất thế giới. TSMC và ASML có mối quan hệ đối tác thân thiết trong nhiều năm qua. Reuters cũng nhận định TSMC là ứng cử viên sáng giá, song không loại trừ khả năng đó là Samsung. Cả TSMC và Samsung trước đây đều thông báo kế hoạch áp dụng hệ thống mới cho việc sản xuất chip.
Mỗi máy High-NA EUV có giá lên tới 380 triệu USD (khoảng 9.281 tỷ đồng), nặng 150 tấn, tương đương hai máy bay chở khách Airbus A320. Theo phát ngôn viên ASML Monique Mols, quá trình vận chuyển và lắp đặt mỗi máy đòi hỏi 250 thùng hàng và 250 kỹ sư làm việc liên tục trong 6 tháng.
Fouquet cho biết nhiều khách hàng quan tâm đến High-NA EUV vì hệ thống này có thể phục vụ tốt cả quá trình sản xuất chip logic lẫn chip nhớ. "So với 0,33 NA, hệ thống 0,55 NA cung cấp hiệu suất tốt hơn, cho phép tăng mật độ bóng bán dẫn gần gấp ba lần, hỗ trợ các nút DRAM dưới 2 nm và chip logic dưới 10 nm", ông nói.
Bên cạnh việc giao hàng High-NA, ASML cũng đang nghiên cứu công cụ in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ mới, với hệ thống quang học chiếu có khẩu độ số cao hơn 0,7 NA.
Tuy nhiên, kết quả tài chính quý I/2024 của ASML không như kỳ vọng. Doanh thu đạt 5,64 tỷ USD, giảm so với mức 7,73 tỷ USD cùng kỳ năm trước. Đáng chú ý, doanh số bán hệ thống in thạch bản cho khách hàng Trung Quốc chiếm kỷ lục 49%, tương đương 2,5 tỷ USD, mặc dù ASML chưa bán các mẫu EUV cho Trung Quốc và bị cấm bán thiết bị quang khắc cực tím sâu (DUV) từ 1/1.
Trước đó, vào cuối năm 2022, ASML đã giao mẫu High-NA EUV đầu tiên, mang tên Twinscan EXE:5000, cho Intel. Tháng 2 năm nay, gã khổng lồ chip Mỹ đã chia sẻ video quá trình lắp ráp máy này.
Christophe Fouquet, Giám đốc kinh doanh của ASML, xác nhận: "Về High-NA, hoặc 0,55 NA EUV, chúng tôi đã chuyển hệ thống đầu tiên cho khách hàng. Chúng tôi đã bắt đầu vận chuyển hệ thống thứ hai trong tháng này và việc lắp đặt cũng sắp bắt đầu".
Mặc dù Fouquet từ chối tiết lộ danh tính khách hàng nhận máy thứ hai, nhiều chuyên gia trong ngành dự đoán đó có thể là TSMC, công ty gia công chip lớn nhất thế giới. TSMC và ASML có mối quan hệ đối tác thân thiết trong nhiều năm qua. Reuters cũng nhận định TSMC là ứng cử viên sáng giá, song không loại trừ khả năng đó là Samsung. Cả TSMC và Samsung trước đây đều thông báo kế hoạch áp dụng hệ thống mới cho việc sản xuất chip.
Mỗi máy High-NA EUV có giá lên tới 380 triệu USD (khoảng 9.281 tỷ đồng), nặng 150 tấn, tương đương hai máy bay chở khách Airbus A320. Theo phát ngôn viên ASML Monique Mols, quá trình vận chuyển và lắp đặt mỗi máy đòi hỏi 250 thùng hàng và 250 kỹ sư làm việc liên tục trong 6 tháng.
Fouquet cho biết nhiều khách hàng quan tâm đến High-NA EUV vì hệ thống này có thể phục vụ tốt cả quá trình sản xuất chip logic lẫn chip nhớ. "So với 0,33 NA, hệ thống 0,55 NA cung cấp hiệu suất tốt hơn, cho phép tăng mật độ bóng bán dẫn gần gấp ba lần, hỗ trợ các nút DRAM dưới 2 nm và chip logic dưới 10 nm", ông nói.
Bên cạnh việc giao hàng High-NA, ASML cũng đang nghiên cứu công cụ in thạch bản Hyper-NA EUV thế hệ mới, với hệ thống quang học chiếu có khẩu độ số cao hơn 0,7 NA.
Tuy nhiên, kết quả tài chính quý I/2024 của ASML không như kỳ vọng. Doanh thu đạt 5,64 tỷ USD, giảm so với mức 7,73 tỷ USD cùng kỳ năm trước. Đáng chú ý, doanh số bán hệ thống in thạch bản cho khách hàng Trung Quốc chiếm kỷ lục 49%, tương đương 2,5 tỷ USD, mặc dù ASML chưa bán các mẫu EUV cho Trung Quốc và bị cấm bán thiết bị quang khắc cực tím sâu (DUV) từ 1/1.
